*大測量直徑

300mm

*大測量高度

280mm

*大工件重量

20kg

工作臺

工作臺直徑

125mm

調中心范圍

±1.25mm

調水平范圍

±0.5°

高度

51mm

主軸

*大轉速

15RPM

徑向誤差

±25nm(當轉速為6RPM時)

測針

測量范圍

2mm

分辨率

30nm

濾波

標準方式

高斯濾波

波長

1-15upr, 1-50upr, 1-150upr, 15-150upr, 1-500upr, 15-500upr,

工作氣壓

0.41Mpa(氣源要求：0.54-0.81Mpa)

氣體消耗量

0.037cu.m/min

操作溫度

10℃-35℃（每小時溫度變化不超過2℃）

電源

AC 90-260V

外形尺寸

320*750*581mm

重量

35KG

主機

1個

平板電腦

1個

電源適配器

1個

校準塊（300μm）

ISQ-RS4450-CLB

磁性夾具（∮300mm,帶定中心附件）

ISQ-RS4450-FT